Les unités "Tête de mort" de la SS, qui avaient la tâche de garder les camps, rivalisèrent de cruauté. Pendant la Seconde Guerre mondiale, les médecins nazis se livrèrent, dans certains camps, à des expériences médicales sur les prisonniers. Avec la guerre, le système des camps nazi prit rapidement de l'ampleur. Après l'invasion de la Pologne par l'Allemagne en septembre 1939, les Nazis ouvrirent des camps de travail dans lesquels des milliers de prisonniers moururent d'épuisement et de faim.

A la suite de l'invasion allemande de l'Union soviétique en juin 1941, les Nazis augmentèrent le nombre des camps de prisonniers de guerre. Certains camps furent construits comme extensions de camps de concentration existants, comme à Auschwitz, en Pologne occupée. Le camp de Lublin, connu plus tard sous le nom de Maïdanek, fut créé à l'automne 1941 comme camp de prisonniers de guerre, avant de devenir un camp de concentration en 1943. Des milliers de prisonniers de guerre soviétiques y furent abattus ou gazés.